ICP光譜儀的氣路系統及其附屬設施主要由氬氣氣源，氬氣包裝物、氬氣凈化機、氣路管道、干燥管、氣壓表和流量計組成。

   氬氣是一種無色、無味的惰性氣體、相對分子質量39.938分子式為Ar。在標準下密度為1.784kg/m3。其沸點-185.7°C。在科研和工業生產中，通常用灰色鋼瓶盛裝氬氣，液氬通常常用杜瓦罐盛裝。

   ICP光譜儀所用工作氣，在分析測試中的作用是：可與樣品溶液形成氣溶膠，可將形成樣品氣溶膠引入等離子炬，可對霧化器、霧化室、中心管起到清潔作用，可點燃等離子體和做等離子冷卻氣保護石英炬管不被高溫融化。因為氬氣是無色、無味、不易燃不易爆的氮原子惰性氣體，它不與試樣組份形成難離解的穩定化合物，也不像分子那樣因離解而消耗能量，有良好的激發性能，本身光譜簡單。具有分析靈敏度高。使用安全、光譜背景較低，電阻率、熱容和熱導率最低等特點，因而造成作為工作氣，而且用氬氣做等離子氣可降低由于熱導散熱而造成的能量損失，提高等離子體的熱效應；還有一點就是用氬氣做等離子體易于形成穩定的高頻耦合等離子體光源，所以需要的高頻功率較低。如果使用氧氣或者氮氣為工作氣，他們會吸收大部分的元素譜線，導致分析過程中的不穩定和整體偏低。

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